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德國(guó)蔡司掃描電鏡通過(guò)發(fā)射高能電子束掃描樣品表面，利用電子與樣品物質(zhì)的相互作用激發(fā)出的各種物理信號(hào)（主要是二次電子）來(lái)調(diào)制一個(gè)同步掃描的顯像管在熒光屏上成像，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面形貌的觀察和分析。
