鎢燈絲掃描電鏡裝配的基本組件可以滿足高分辨率成像的要求，這些基本組件不僅可以保證電鏡高質(zhì)量的成像，而且能夠?qū)崿F(xiàn)快速裝載樣品，短時間內(nèi)成像。精確的自動聚焦和電子束自動對中使飛納電鏡系列成為市場上受用戶歡迎、操作簡單的鎢燈絲掃描電鏡。對于有高分辨率成像需求的用戶來說，Phenom Pure可以提供經(jīng)濟、高效的解決方案。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
 

　　無論是透明的材料或不透明材料、甚至熒光材料都可以分析出較為理想的效果。在較低放大率下，移動采樣階段可以找到待分析的樣本、放大的和聚焦的樣本。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點，使用對比度、亮度、放大率和焦距來制作圖像，然后在樣本的基礎(chǔ)上尋找或選擇感興趣的分析站點。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡的調(diào)焦結(jié)構(gòu)分為微動調(diào)焦和粗動調(diào)焦兩部分：
 

　　1、微動調(diào)焦結(jié)構(gòu)
 

　　微動機構(gòu)有齒輪式，杠桿式，行星輪式等結(jié)構(gòu)形式，中以齒輪式粗、微動同軸結(jié)構(gòu)使用得普通。
 

　　2、粗動調(diào)焦結(jié)構(gòu)
 

　　粗動調(diào)焦機構(gòu)一般采用齒輪與齒條的嚙合運動形式，選用組織穩(wěn)定而耐磨性較強的合金材料，并經(jīng)過精密加工而成。
 

　　當轉(zhuǎn)動粗動手掄時，全相試樣表面對光學系統(tǒng)發(fā)生相對運動，被調(diào)系統(tǒng)作準確的直線運動。移動時效尾與燕尾榴配合平穩(wěn)，沒合松動或過緊的現(xiàn)象。而齒輪與齒條的齒合精度由調(diào)整齒條與齒輪的中心距保證。